智慧財產及商業法院於115年3月6日邀請臺灣科技大學機械研究所鄭正元教授蒞院講授「半導體與最新EUV技術與商機」，由陳駿璧院長主持。 鄭教授首先就我國教育制度培養高水準人才，及我國政府財政規劃有效衡平國際通膨、匯率及民生物價，逐步造就我國半導體產業能立足於國際的有利環境；復分析介紹半導體產業鏈之上、下游各產業發展分布概況，包含晶片封裝、測試及其設備、材料等產業鏈結構。以台灣積體電路製造股份有限公司(下稱台積電)的極紫外光(EUV)微影設備機台為例，台積電於半導體產業發展推動 5 奈米晶片及更先進製程，其中極紫外光(EUV)微影設備即為必要核心工具，而全球唯一生產極紫外光(EUV)微影設備供應商僅有荷蘭商艾司斯摩爾(ASML)一家，台積電向艾斯摩爾購入極紫外光(EUV)微影設備後進一步共同研發推動半導體先進製程從 5 奈米邁向3奈米、2奈米等更小製程並量產，故台積電與艾斯摩爾(ASML)有著密不可分的合作關係。 鄭教授指出台積電除與艾斯摩爾合作，更一步扶植國內半導體相關產業，例如廠房建設的達欣工程、東鋼、漢唐公司等，應用於產線光阻劑的應材公司、光罩盒的家登公司、電子級異丙醇(EIPA)雙循環回收的李長榮集團公司，後段封裝製程的弘塑、辛耘公司等，台積電藉由與國內本土廠商相互合作扶植，引領國內相關廠商進入台積電半導體製程供應鏈，除帶動半導體周邊產業蓬勃發展外，亦降低供應鏈的風險。 鄭教授接著說明艾斯摩爾(ASML)的極紫外光(EUV)微影設備搭配德國蔡司(ZEISS)公司開發的光學系統及德國通快(TRUMPF)公司開發的高功率二氧化碳雷射光源為必要元件，該光學系統與雷射光源於EUV微影設備具有不可取代的地位，供應商間更進一步合作關係面對未來產業的競爭勢必更加緊密，唯有建構穩定、進步的產業鏈，才能築起我國半導體產業更高的技術高牆，發展更高能量的工程技術。 透過鄭教授精彩、詳實的說明，與會者得以清楚瞭解半導體EUV微影設備於半導體產業當前的重要性及不可取代性，並對半導體產業、EUV微影設備及相關產業鏈有更深一層的認識，與會者均感獲益良多，本次演講在鄭教授及與會者熱烈互動中圓滿結束。
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